一、项目编号：
采招中心编号：HZ20200201-0223
采购代理编号：0623-2081N1106083
二、项目名称：中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台反应离子刻蚀机、感应耦合等离子刻蚀机采购项目
三、供应商投标情况：
供应商信息名称 | 资格性 审查结果 | 符合性 审查结果 | 投标报价（元） | 综合 得分 | 推荐 排名 | 是否成交 候选人 |
上海励菡电子有限公司 | 审核通过 | 审核通过 | 5939000 | 77.05 | 1 | 是 |
北京中科泰龙电子技术有限公司 | 审核通过 | 审核通过 | 5750000 | 73.30 | 2 | 是 |
成都华美博电子科技有限公司 | 审核通过 | 审核通过 | 5985000 | 62.12 | 3 | 是 |
四、中标信息
供应商名称：上海励菡电子有限公司
供应商地址：上海市金山区漕泾镇亭卫公路3688号5幢二层479室
中标金额：5939000元
五、主要标的信息
中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台反应离子刻蚀机、感应耦合等离子刻蚀机采购项目 | |||||||
分项项目名称 （标的名称/条目号/品目名称） | 规格型号 （或项目特征描述） | 品牌 | 产地 | 数量/单位 | 金额 （万元） | 备注 | |
1 | 反应离子刻蚀机(RIE) | RIE总价196万元（2年质保期，2年免人工服务） | |||||
2 | RIE主机 | SI 591 | SENTECH | 德国 | 1/套 | 123 | |
3 | 射频电源 | CESAR 136 | AE | 德国 | 1/套 | 15 | |
4 | 涡轮分子泵 | Turbovac 361 | 莱宝 | 德国 | 1/台 | 30 | |
5 | 干泵 | A124 H | 普发 | 德国 | 1/台 | 15 | |
6 | 循环恒温器 | F 250 | Julabo | 德国 | 1/台 | 13 | |
7 | 感应耦合等离子刻蚀机(ICP） | ICP总价397.9万元（2年质保期，2年免人工服务） | |||||
8 | ICP主机 | SI 500 | SENTECH | 德国 | 1/套 | 249 | |
9 | 射频电源 | CESAR 1312 | AE | 德国 | 1/套 | 30 | |
10 | 射频电源 | CESAR 136 | AE | 德国 | 1/套 | 15 | |
11 | 涡轮分子泵 | ATH 1600 MT | 普发 | 德国 | 1/台 | 41.9 | |
12 | 干泵 | A124H | 普发 | 德国 | 1/台 | 15 | |
13 | 循环恒温器 | FP 40 | Julabo | 德国 | 1/台 | 20 | |
14 | 激光终点检测系统 | SLI 670 | SENTECH | 德国 | 1/套 | 27 | |
六、评审专家名单：陈小华（主任评委）、杨崧、何志平、文楚成、汪炼成（业主评委）
监 委：马春德
七、公告期限
自本公告发布之日起一个工作日。投标供应商如对此公告有异议的，请于此公告发布之日起七个工作日内，以书面形式向采购人、代理机构一次性提出质疑。
八、其他补充事宜
本次中标公告同时在中国政府采购网（http://www.ccgp.gov.cn/）中南大学校园网（http://tz.its.csu.edu.cn/）、中南大学采购与招标管理中心网（http://czzx.csu.edu.cn/）上发布。
九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1、采购人信息
名 称：中南大学
地 址：长沙市麓山南路932号
联系人：张老师
联系方式：0731-88836937
2、招标代理机构信息
名 称：湖南省招标有限责任公司
地 址：长沙市雨花区湘府东路199号招标大厦
联系人：张子怡 王思
联系方式：0731-84511088
3、项目联系方式
项目申购单位：高等研究中心
项目联系人：吴老师
联系电话：15200890109