为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将中南大学2020年10月政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 意向编号 | 采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 备注 |
| 1 | 中南大学高等研究中心微纳加工及器件制造平台电子束曝光系统采购项目 | CGYX202000061 | A02100499其他分析仪器 | 中南大学高等研究中心微纳加工及器件制造平台电子束曝光系统采购项目，拟采购一台电子束曝光机，可获得具有100KeV加速电压和6nm最小线宽的高精度专业级设备；设备除满足上述需求外，需要在1年之内交货，提供3年的质保期。 | 1200 | 2020年10月 | |
| 2 | 中南大学高等研究中心微纳加工及器件制造平台无掩膜光刻机采购项目 | CGYX202000062 | A02100499其他分析仪器 | 中南大学高等研究中心微纳加工及器件制造平台无掩膜光刻机采购项目，拟采购一台激光直写光刻机，可提供掩模板制作、光刻胶直写无掩模光刻以及多层套刻直写等功能；设备除满足上述需求外，需要在1年之内交货，提供3年的质保期。 | 560 | 2020年10月 | |
| 3 | 中南大学高等研究中心微纳加工及器件制造平台紫外光刻机采购项目 | CGYX202000063 | A02100499其他分析仪器 | 中南大学高等研究中心微纳加工及器件制造平台紫外光刻机采购项目，拟采购一台紫外光刻机，能够在同一设备上实现“高分辨率”和“大景深”两种模式曝光，以及全自动模式下的高对准精度；设备除满足上述需求外，需要在1年之内交货，提供3年的质保期。 | 220 | 2020年10月 | |
| 4 | 中南大学高等研究中心微纳加工及器件制造平台电子束蒸发仪采购项目 | CGYX202000064 | A02100499其他分析仪器 | 中南大学高等研究中心微纳加工及器件制造平台电子束蒸发仪采购项目，拟采购一台电子束蒸发镀膜设备，实现高精度薄膜制备、较高的工艺适应性和系统稳定性；设备除满足上述需求外，需要在1年之内交货，提供3年的质保期。 | 150 | 2020年10月 | |
| 5 | 中南大学高等研究中心微纳加工及器件制造平台磁控溅射仪采购项目 | CGYX202000065 | A02100499其他分析仪器 | 中南大学高等研究中心微纳加工及器件制造平台磁控溅射仪采购项目，拟采购一台磁控溅射镀膜设备，实现膜层均匀性好、致密度高、应力适中；设备除满足上述需求外，需要在1年之内交货，提供3年的质保期。 | 250 | 2020年10月 | |
| 6 | 中南大学高等研究中心微纳加工及器件制造平台反应离子刻蚀机采购项目 | CGYX202000066 | A02100499其他分析仪器 | 中南大学高等研究中心微纳加工及器件制造平台反应离子刻蚀机采购项目，拟采购一台反应离子刻蚀机，实现刻蚀过程中较好的均匀性、重复性和较高的稳定性；设备除满足上述需求外，需要在1年之内交货，提供3年的质保期。 | 200 | 2020年10月 | |
| 7 | 中南大学高等研究中心微纳加工及器件制造平台感应耦合等离子刻蚀机采购项目 | CGYX202000067 | A02100499其他分析仪器 | 中南大学高等研究中心微纳加工及器件制造平台感应耦合等离子刻蚀机采购项目，拟采购一台ICP刻蚀机，实现侧壁陡直度高，均匀性、深宽比和重复性好的刻蚀功能；设备除满足上述需求外，需要在1年之内交货，提供3年的质保期。 | 400 | 2020年10月 | |
| 8 | 中南大学高等研究中心微纳加工及器件制造平台离子束刻蚀机采购项目 | CGYX202000068 | A02100499其他分析仪器 | 中南大学高等研究中心微纳加工及器件制造平台离子束刻蚀机采购项目，拟采购一台离子束刻蚀设备，实现高速率低损伤刻蚀，以及均匀性、深宽比、重复性好等功能；设备除满足上述需求外，需要在1年之内交货，提供3年的质保期。 | 150 | 2020年10月 | |
| 9 | 中南大学高等研究中心微纳加工及器件制造平台原位纳米机电加工系统采购项目 | CGYX202000069 | A02100499其他分析仪器 | 中南大学高等研究中心微纳加工及器件制造平台原位纳米机电加工系统采购项目，拟采购一台基于FIB的原位纳米机电加工设备，实现FIB原位加工、制造与测试一体的功能；设备除满足上述需求外，需要在1年之内交货，提供3年的质保期 | 760 | 2020年10月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
中南大学采购与招标管理中心
2020年09月07日